關于無塵廠房中的氣流速度規定
無塵廠房是指控制產品（如硅芯片等）所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。
氣流速度是指無塵廠房內的氣流速度，由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這個概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求：
1、送風口出口氣流速度不宜太大，較于單純空調房間，要求速度衰減越快，擴散角度越大。
2、吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大于0.2m/s。