在無塵車間，先要根據實際生產過程建立相應的功能室，并考慮人員流向和運營效率。根據計劃的初步決定，確定清潔區和非清潔區以及清潔區的清潔水平。然后確定相應的換氣次數或截面風速。接下來，放置一個回風口，規劃一個清潔的鼓風機單元，并計劃將外部風管送回。
無塵車間一般包括無塵區、準無塵區和輔佐區三部分。車間的平面安置能夠有以下幾種方法：
外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設備用，有的在外廊內設直勤采暖，外窗要是雙層密封窗。
內廊式：
無塵車間設在外面，而走廊設在里面，這種走廊的無塵度等級一般都較高，乃至和無塵車間同級。
兩頭式：無塵區設在一邊，另一邊設準無塵和輔佐用房。
中心式：為了節省用地、縮短管線，能夠無塵區為中心，上下左右被輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候對無塵區的影響，削減了冷熱能耗，利于節能。
物料凈化道路與人凈道路應分隔，如果物料與人員只能在同一處進入無塵車間，也要分門而入，物料先通過粗凈化處理。關于出產流水線不強的場合在物料道路中心可設中心庫。如果出產流水線很強，則選用直通式物料道路，有時還需求在直通道路中心設屢次凈化、傳遞設備。
在體系規劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區應堅持負壓或零壓，如果污染危險性大則對入口方向也要堅持負壓。人員凈化道路 為了在操作中盡量削減人活動發生的污染，人員在進入無塵區之前，要替換無塵服并洗手、消毒、過風淋。