隨著人們生活質(zhì)量的上升，人們對生產(chǎn)質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格。電子無塵車間靜電的控制可分為兩類：高濕度實(shí)際上減少了無塵車間和潔凈室表面靜電的積累，是理想的作用。較低的濕度適合電荷積聚和潛在的破壞性靜電釋放源。
當(dāng)相對濕度大于50%時(shí)，靜電荷開始消散，但當(dāng)相對濕度小于30%時(shí)，靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上長期存在。
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折衷方案。電子
無塵車間和潔凈室一般采用附加的控制裝置來控制靜電的積聚。隨著相對濕度的增加，包括腐蝕過程在內(nèi)的許多化學(xué)反應(yīng)的速率都會(huì)增加。電子無塵車間和潔凈室周圍暴露在空氣中的表面都覆蓋至少一層水。當(dāng)這些表面由能與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化層，以免進(jìn)一步氧化；但另一種情況，如氧化銅，不具有保護(hù)性，因此銅表面在高濕度環(huán)境中容易受到腐蝕。
電子無塵車間的溫濕度控制主要是由于其生產(chǎn)工藝的要求：
在電子工業(yè)中，制造車間是產(chǎn)生靜電的重要場所。通常情況下，靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品短路，導(dǎo)致工作人員導(dǎo)電暈厥事故。因此，電子工業(yè)無塵車間的相對濕度不應(yīng)小于30%，可以減少靜電的產(chǎn)生。電子廠無塵車間無要求，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55%-60%相對濕度。在這種環(huán)境中，人們感到舒服，靜電消失了。